Газ с высокой чистотой силана для производства полупроводников

Производство силана обычно включает реакцию тетрахлорсилицида (SiCl4) с водородом при повышенных температурах. Этот процесс дает сilan и соляную кислоту (HCl) в качестве побочного продукта. Силан также может быть получен термическим распадом силанов или реакцией металлического кремния с соляной кислотой.

Помимо применения в электронной промышленности, силан используется в производстве стеклянных волокон, обработанных силаном, что улучшает адгезию смол к волокнам, повышая механические свойства композитных материалов. Он также применяется в синтезе различных силиконовых полимеров и как восстановитель в химических реакциях.

Из-за своей пирогенной природы силан должен храниться и транспортироваться в условиях инертного газа для предотвращения случайного возгорания. Обычно он поставляется в сжатых баллонах и обрабатывается в соответствии со строгими правилами безопасности для минимизации рисков, связанных с его реакционной способностью.

Ключевые свойства силана включают:

• Химическая формула: ‌ SiH4
• Молекулярная масса: ‌ 32.117 г/моль
• Температура кипения: ‌ -111.9°C
• Температура плавления: ‌ -161.2°C
• Воспламеняемость: ‌ Высоковоспламеняемый, пирогенный
• Классификация опасности: ‌ Опасно для окружающей среды, горючий газ

Меры безопасности имеют первостепенное значение при работе со силаном, так как контакт с воздухом может привести к самовозгоранию, а вдыхание газа может быть вредным для здоровья человека. Должна быть обеспечена правильная вентиляция, использование средств индивидуальной защиты и планов действий в чрезвычайных ситуациях для тех, кто работает с этим реактивным газом.