HCM ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการใช้งานที่แม่นยำ

การวิจัยและการใช้งานของแก๊สพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ 3MS ในการผลิตครึ่งตัวนํา